UV能量測試儀主要用于曝光機內(nèi)UV光源的強度和能量檢測，而曝光機主要功能是通過紫外線的照射使得光刻膠中的感光劑發(fā)生化學(xué)變化。通過儀器的檢測，我們可以控制曝光時間以及紫外燈的強度以達到合適的光刻膠曝光效果。

曝光機的工作原理

曝光機主要運用在半導(dǎo)體器件制造工藝中的光刻流程中。光刻主要是利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu)，然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所在襯底上。

曝光機內(nèi)有很多UV LED光源，這些LED光源并列分布，曝光機可以通過這些具有特定波長的UV LED發(fā)出的光對覆蓋襯底的光刻膠進行選擇性地照射，使得光刻膠中的感光劑發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)后的區(qū)域可以溶解于特定的顯影液中。利用感光與非感光光刻膠對堿性顯影液溶劑的不同溶解度，就可以進行掩膜圖形的轉(zhuǎn)移。

曝光不足或者曝光過度的后果

利用UV能量測試儀正確地控制曝光時間才能夠得到優(yōu)良的干膜抗蝕圖像。

當曝光不足時，由于感光劑中化學(xué)反應(yīng)的不徹底，在顯影過程中，膠膜會溶漲變軟，線條不夠清晰，色澤暗淡，甚至脫膠。在電鍍前處理或電鍍過程中，膜會發(fā)生起翹、滲鍍、甚至脫落的現(xiàn)象。當曝光過度時，會造成難于顯影，膠膜發(fā)脆、留下殘膠等弊病。

曝光不足或者曝光過度都會產(chǎn)生圖像線寬的偏差，過度的曝光會使圖形電鍍的線條變細，使印制蝕刻的線條變粗，而曝光不足使圖形電鍍的線條變粗，使印制蝕刻的線條變細。因此曝光機的曝光時長以及光照強度都需要進行嚴格的監(jiān)控。

林上LS128UV能量測試儀，是一款專業(yè)用于檢測曝光機內(nèi)UV LED光源的設(shè)備。儀器可以記錄接收到的紫外光的強度和能量值，將儀器放置在需要進行曝光的光刻膠的位置上，儀器可以實時記錄光刻膠在曝光機內(nèi)接收到的紫外線強度大小以及累積的能量值，通過控制曝光機內(nèi)UV LED的強度和曝光時間來達到正常曝光。